德國PI進(jìn)口壓電陶瓷促動器

應(yīng)用領(lǐng)域

一勞永逸型應(yīng)用

自適應(yīng)機(jī)械部件

漂移補(bǔ)償

光學(xué)部件的校準(zhǔn)

精密機(jī)械部件

靜態(tài)精密定位

計(jì)量/干涉測量

如果精密機(jī)器內(nèi)部兩個(gè)部件之間的目標(biāo)或?qū)嶋H尺寸發(fā)生了改變，例如在半導(dǎo)體制造、測量應(yīng)用或檢驗(yàn)系統(tǒng)中，重新調(diào)整也許就有必要了。例如，當(dāng)機(jī)器在客戶場地被啟動時(shí)，初始設(shè)定、漂移或公差變化需要在安裝后進(jìn)行補(bǔ)償。精確研磨至所需尺寸的傳統(tǒng)墊片的缺點(diǎn)是它們需要進(jìn)行機(jī)械插入。此外，不受限制的精調(diào)有時(shí)并不可能，且一旦尺寸確定下來，后續(xù)就很難再改。PI (Physik Instrumente)找到了這一問題的最佳解決方案，開發(fā)出了PI Rest壓電陶瓷“墊片”。當(dāng)它們被安裝在機(jī)器中后，有源墊片不僅可以隨時(shí)重新調(diào)整兩個(gè)部件之間的間隙，還能達(dá)到納米級精度。重要工作參數(shù)存儲在機(jī)械部件的ID芯片上，電控啟動后可自動讀出。

P-131具有納米分辨率和長期穩(wěn)定性的有源墊片

長期穩(wěn)定性，無需連續(xù)電源

對位于無法接近的位置上的機(jī)器進(jìn)行輕

松調(diào)整

避免耗時(shí)的手動調(diào)整過程

納米分辨率和微米位移

每個(gè)促動器的負(fù)載能力高達(dá)4000牛

溫度傳感器

德國PI (Physik Instrumente) P-611.1

P-611.1 線性壓電陶瓷定位系統(tǒng)

§ 緊湊型設(shè)計(jì)：表面為44×44毫米

§ 行程120微米

§ 分辨率達(dá)0.2納米

§ 其經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的系統(tǒng)（機(jī)械部件和控制 器）

§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命

§ 可提供Z向位移臺、XY、XZ和XYZ版本

PI (Physik Instrumente) 各系列型號如下

PI (Physik Instrumente) M-060.PD

PI (Physik Instrumente) C-844.4DC

PI (Physik Instrumente) E-503.00S

PI (Physik Instrumente) E-625.SR

PI (Physik Instrumente) P-611.1S  

PI (Physik Instrumente) E-727.3SDF

PI (Physik Instrumente) P-721.12Q

PI (Physik Instrumente) M-531.PD1

PI (Physik Instrumente) C-843.21

PI (Physik Instrumente) M-061.PD

PI (Physik Instrumente) M-060.PD

PI (Physik Instrumente) M-531.PD1

PI (Physik Instrumente) C-843.21

PI (Physik Instrumente)P-611.10 線性納米定位系統(tǒng)，120微米，不帶傳感器 

PI (Physik Instrumente)P-611.1S 線性納米定位系統(tǒng)，100微米，應(yīng)變片傳感器

PI (Physik Instrumente)帶Sub-D連接器（公頭）的版本 

PI (Physik Instrumente)P-620.1CD 精密PIHera 線性納米定位系統(tǒng)，50微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-621.1CD 精密PIHera 線性納米定位系統(tǒng)，100微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-622.1CD 精密PIHera 線性納米定位系統(tǒng)，250微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-625.1CD 精密PIHera 線性納米定位系統(tǒng)，500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-628.1CD 精密PIHera 線性納米定位系統(tǒng)，800微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-629.1CD 精密PIHera 線性納米定位系統(tǒng)，1500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)帶LEMO連接器的版本 

PI (Physik Instrumente)P-620.1CL 精密PIHera 線性納米定位系統(tǒng)，50微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-621.1CL 精密PIHera 線性納米定位系統(tǒng)，100微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-622.1CL 精密PIHera 線性納米定位系統(tǒng)，250微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-625.1CL 精密PIHera 線性納米定位系統(tǒng)，500微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-628.1CL 精密PIHera 線性納米定位系統(tǒng)，800微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-629.1CL 精密PIHera 線性納米定位系統(tǒng)，1500微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)不帶位置傳感器的線性定位器 

PI (Physik Instrumente)P-620.10L 精密PIHera 線性納米定位系統(tǒng)，60微米，LEMO連接器，不帶傳感器 

PI (Physik Instrumente)P-621.10L 精密PIHera 線性納米定位系統(tǒng)，120微米，LEMO連接器，不帶傳感器 

PI (Physik Instrumente)P-622.10L 精密PIHera 線性納米定位系統(tǒng)，300微米，LEMO連接器，不帶傳感器 

PI (Physik Instrumente)P-625.10L 精密PIHera 線性納米定位系統(tǒng)，600微米，LEMO連接器，不帶傳感器 

PI (Physik Instrumente)P-628.10L 精密PIHera 線性納米定位系統(tǒng)，950微米，LEMO連接器，不帶傳感器 

PI (Physik Instrumente)P-629.10L 精密PIHera 線性納米定位系統(tǒng)，1800微米，LEMO連接器，不帶傳感器 線性定位器，真空兼容達(dá)10-9百帕 

PI (Physik Instrumente)P-620.1UD 精密PIHera 線性納米定位系統(tǒng)，50微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕 

PI (Physik Instrumente)P-621.1UD 精密PIHera 線性納米定位系統(tǒng)，100微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕 

PI (Physik Instrumente)P-622.1UD 精密PIHera 線性納米定位系統(tǒng)，250微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕 

PI (Physik Instrumente)P-625.1UD 精密PIHera 線性納米定位系統(tǒng)，500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕 

PI (Physik Instrumente)P-628.1UD 精密PIHera 線性納米定位系統(tǒng)，800微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕 

PI (Physik Instrumente)P-629.1UD 精密PIHera 線性納米定位系統(tǒng)，1500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器，真空兼容至10-9百帕

PI (Physik Instrumente)P-630.XCD 帶孔徑的線性壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，40 微米，直接位置測量，電容傳感器 

PI (Physik Instrumente)P-631.XCD 帶孔徑的線性壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，80 微米，直接位置測量，電容傳感器

PI (Physik Instrumente)P-712.10L薄型OEM納米掃描儀，40μm，開環(huán)

PI (Physik Instrumente)P-712.1SL薄型OEM納米掃描儀，30μm，SGS傳感器

PI (Physik Instrumente) 

PI (Physik Instrumente)控制器/驅(qū)動器/放大器

PI (Physik Instrumente)E-610壓電放大器/控制器

PI (Physik Instrumente)E-625壓電伺服控制器和驅(qū)動器

PI (Physik Instrumente)飾品

PI (Physik Instrumente)P-895.3LDC適配器電纜，Sub-D 7W2（f）到LEMO連接器（m）

PI (Physik Instrumente)相關(guān)產(chǎn)品

PI (Physik Instrumente)P-603經(jīng)濟(jì)型PiezoMove線性撓性執(zhí)行器

PI (Physik Instrumente)P-713 XY壓電掃描儀

PI (Physik Instrumente)P-752高精度納米定位平臺

PI (Physik Instrumente)P-750.00 High- Load Nanopositioning System, 75 μm Travel Range 

PI (Physik Instrumente)P-750.20 High- Load Nanopositioning System, 75 μm Travel Range, Capacitive Sensor, Direct Metrology 

PI (Physik Instrumente) 

PI (Physik Instrumente)Controllers / Drivers / Amplifiers 

PI (Physik Instrumente)E-753 Digital Piezo Controller 

PI (Physik Instrumente)E-509 Signal Conditioner / Piezo Servo Module 

PI (Physik Instrumente)E-625 Piezo Servo- Controller & Driver Related Products 

PI (Physik Instrumente)P-611.1 Linear Piezo Positioning System 

PI (Physik Instrumente)P-620.1 – P-629.1 PIHera Piezo Linear Stage

PI (Physik Instrumente)P-752.11C 高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，15微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-752.1CD 高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，15微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-752.21C 高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，30微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-752.2CD 高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，30微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

PI (Physik Instrumente)帶Sub-D連接器（公頭）的版本 

PI (Physik Instrumente)P-753.1CD LISA高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，12微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-753.2CD LISA高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，25微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器 

PI (Physik Instrumente)P-753.3CD LISA高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，38微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器 帶LEMO連接器的版本 

PI (Physik Instrumente)P-753.11C LISA高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，12微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-753.21C LISA高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，25微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 

PI (Physik Instrumente)P-753.31C LISA高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，38微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器 線性定位器，真空兼容達(dá)10-9百帕 

PI (Physik Instrumente)P-753.1UD LISA高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，12微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕 

PI (Physik Instrumente)P-753.2UD LISA高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，25微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕 

PI (Physik Instrumente)P-753.3UD LISA高動態(tài)壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)，38微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器, 真空兼容至10-9百帕

德國PI進(jìn)口壓電陶瓷促動器